航空宇宙と精密製造のクリーンルームソリューション

I. 衛星部品の組成

1. 振動 制御 の 清掃 室

   • 活性振動隔離プラットフォーム: モジュラルのクリーンルームと統合され,敏感なジロスコップ/アンテナのアライナメントのために<1μm/s2の振動レベルを達成する.

   • ISO 3級 環境:ULPAフィルター (99.9995% @ 0.12μm) を搭載したFFUは,光学センサーに微粒子の堆積を防止する.

   • ドライエアシステム: エポキシ固化中に,真空シミュレーション室で脱ガスを避けるために,RH ≤5%を維持する.

2. ヘルメティック 密封 と 試験

   • グローブボックスを通過: 酸化を防ぐためにアルゴンの空気中に部品を移動します.

   • 負気圧 の クリーンルーム:HEPAフィルタリングによる隔離燃料バルブ試験 (ISO 14644-1クラス4)

II. 精密光学装置

1. レンズ 磨き コーティング

   • ISOクラス2 ランナーフローワークステーション:ULPAフィルタリングされた空気流は,イオンビームスプッターリング中に0.1μmの粒子を除去します.

   • 温度 に 安定 する 清潔 室: インターフェロメーター校正における熱漂移を最小限にするために,モジュールパネルによる ±0.5°C制御

2. レーザーシステム組成

   • ESD保護区: 導電床 + 離子化FFUは量子カスケードレーザーパッケージの<10V静的状態を維持する.

   • クリーンルーム に 対応 する ロボット: ISOクラス4環境における自動ファイバーアライナメント

ナノマテリアル合成

1. グラフェン/炭素ナノチューブ生産

   • 化学過濾のクリーンルーム活性炭フィルタを備えたFFUは,CVD合成中にVOC副産物を吸収します.

   • 惰性ガス室: MXeneエッチングプロセスのため,窒素浄化システム (<1ppm O2) を備えたモジュール式クリーンルーム.

2. 量子ドット製造

   • ULPA フィルター付き 手袋箱: 周囲の粒子 (<0.05μm) を排除することによって,ナノ粒子のサイズ分布を制御する.

   • 消極的な振動抑制: AFM 特徴付けのために 10Hz 自然周波数隔離のクリーンルーム構造.

IV 基本技術

• 超清潔な性能:ISOクラス1のゾーンでは,≤1粒子/ft3 (≥0.1μm) を達成する.

• 多パラメータ制御: 振動 (VC-D),EMI (<1mV/m) と温度 (±0.1°C) の同時管理

• 準拠性: NASA STD-3001,MIL-STD-1246C,ISO 14644-1クラス1規格を満たしている.

• 人工知能による監視: シックス・シグマプロセス制御のための予測粒子カウンター分析