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詳細情報 |
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| カスタムメイド: | サポート | 証明: | ISO,CE,UL,RoHS |
|---|---|---|---|
製品の説明
BFU メガサイズ ファンフィルターユニット 半導体級のフィルタリング&ゼロダウンタイムのメンテナンス
超高容量 クリーンルーム エア システム
BFU メガサイズ ボトム アクセス FFU 1220X1220X450は 大規模なクリーンルーム空気処理の突破口を代表しています 半導体ギガファブ,継続的なISOクラス1〜3環境を必要とするワクチン生産施設このFFUは,業界最大の単一ユニットカバーエリア (1.48m2) を有し,超清潔なゾーンで例外的な0.2%の速度変動を維持しながら,2200m3/hの空気流を供給します.
テクニカル仕様
| パラメータ名 | 価値 |
|---|---|
| 材料 | 箱: 振付アルミプレート; ディフューザー: 焼いた塗料の冷たいプレート |
| 扇風機システム | MRJHモーター + 鉄の輪 |
| 飛行速度 | 0.45-0.75 m/s ±3% (三速調節可能) |
| 定数空気の容量 | 2000m3/h |
| 騒音レベル | 46-55 dB ±5 dB (フィルターより1.5m下の静的試験) |
| 電源 | 220V/50Hz 定位電源: 170W~200W ±5W |
| フレンズ接続 | 選択可能 D=350mm |
| オープニングサイズ | 色鋼板: 1225×625mm |
| サイズ | 1220×1220×450 mm |
| 認証 | ISO 14644-1,ISO 9001,CE |
競争上の利点
| パラメータ/特徴 | 私たちの製品 | 市場平均 | 利点 |
|---|---|---|---|
| フィルター プレート 数 | 315 折りたたみ | 260 折りたたみ | フィルタリング効率と塵保持能力を向上させる より大きなフィルタリングエリア |
| HEPAフィルター | - | - | フィルタリング 介質 の 厚さ が 増加 する と,フィルタリング の 効果 と 寿命 が 向上 する |
| 折りたたみの高さ | 50mm | 38mm | 厚いフィルタリングメディアは,フィルタリング性能と長寿を向上させる |
| 保護網のブランド | 高品質の9Nブランド | 一般ブランド | 構造の安定性を保証する優れたサポートと保護 |
| フレーム厚さ | 1.0 mm | 0.7mm | 耐久性が向上し,変形リスクが軽減されるため,より強いフレーム |
| パット 処理 材料 | セットあたり50個,Fuming AB接着剤,CNY 400kのポット機で製造された | 標準プロセス | 密着し 均一 に 密着 する こと に よっ て 漏れ を 防ぎ,信頼 できる 濾過 を 保証 する |
| 平均気流速 | 0.8 m/s | 0.65 m/s | 低抵抗でより高い空気流容量,システムの効率を向上させる |
| モーター | 防水性 | 防水性 | 多様な環境における安全性と信頼性の向上 |
主要 な 特徴
- 耐久 的 な 建築: 焼いた 塗料 の 拡散 器 を 備えた 振付 型 アルミ 箱 が 耐腐り と 長寿 を 保証 し ます
- 高性能扇風機システム: 頑丈な鉄回転器を持つMRJHモーターは安定した空気流と強化された耐久性を提供します
- 精密な空気流量制御:柔軟なクリーンルーム要件のために3速調整可能な風速 (0.45〜0.75 m/s ±3%)
- フィルタリング:非分割HEPAフィルター (1170×570×90) は,優れた粒子の捕獲を達成する
- 大容量空気流量: 大規模なクリーンルーム換気のために,気体容量は2000m3/h
- 底部 を 切り離す デザイン: 保守 や フィルター の 交換 を 簡素 に する
- 大型フレンズ互換性:モジュール式システム統合のためのフレンズ接続 (D=350mm) をサポートする
- 低騒音:フィルターより1.5m下での動作で46-55 dB (±5 dB) に設計されています.
応用シナリオ
医薬品,電子機器,バイオテクノロジー施設のクリーンルーム空気の浄化
ISO認証のフィルタリングを要求する製造領域で,大気流量 (2000 m3/h)
大規模なモジュール式設置 (350mm フレンズ互換性) と容易な保守を必要とする施設
よく 聞かれる 質問
Q: 1220X1220X450mmのメガサイズデザインは 標準FFUと比較して 半導体ギガファブにどんな利点があるのでしょうか?
A: 私たちのメガサイズの FFU は 300mm ワッフル工場の 3 つのゲームを変える利点を提供します:
屋根の浸透量が70%減少 (1台が4つの標準FFUを入れ替える) 汚染リスクを最小限に抑える
照光リトグラフィー・ベイ全体で無対比の空気流の均一性 (<±0.15%の速度変化)
統合されたサービスレールは,クリーンルームプロトコルを破ることなくロボットのフィルター変更を可能にします (ISOクラス1は,メンテナンス中に維持されます)
屋根の浸透量が70%減少 (1台が4つの標準FFUを入れ替える) 汚染リスクを最小限に抑える
照光リトグラフィー・ベイ全体で無対比の空気流の均一性 (<±0.15%の速度変化)
統合されたサービスレールは,クリーンルームプロトコルを破ることなくロボットのフィルター変更を可能にします (ISOクラス1は,メンテナンス中に維持されます)
Q: "ゼロダウンタイムメンテナンス"を他の底部アクセスFFUと本当に違うのは何ですか?
A: このシステムは3つの特許技術を組み合わせています
自動シールナノガスケットTMはフィルター交換中に負圧を維持します
精密誘導ロボット工学 110秒で ULPA 変更を完了 (手動で 30分以上)
スマート粒子カウンタは,従来の4時間の再資格停止時間をなくして,サービス後のフィルターの整合性を自動的に検証します
自動シールナノガスケットTMはフィルター交換中に負圧を維持します
精密誘導ロボット工学 110秒で ULPA 変更を完了 (手動で 30分以上)
スマート粒子カウンタは,従来の4時間の再資格停止時間をなくして,サービス後のフィルターの整合性を自動的に検証します
Q: 半導体級のフィルタリングは EUVリトグラフィープロセスを具体的にどのように保護しますか?
解決策はリトグラフィーの 3つの最大の汚染脅威を 対象としています
AMC制御:活性炭層は,空気中の分子汚染物質を除去する
ナノ粒子の捕獲: 重要な粒子の優れた捕獲 (<3nmノード出力にとって重要な)
振動の除去:磁気浮動により振動の減少が達成されます.ASMLの要求よりも10倍も良いです.
AMC制御:活性炭層は,空気中の分子汚染物質を除去する
ナノ粒子の捕獲: 重要な粒子の優れた捕獲 (<3nmノード出力にとって重要な)
振動の除去:磁気浮動により振動の減少が達成されます.ASMLの要求よりも10倍も良いです.
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